XY բեմի նոր դիզայնը թույլ է տալիս օպտիմիզացնել այնպիսի կարևոր տարրեր, ինչպիսիք են ուղղանկյունությունը, ուղիղությունը և հարթությունը, ինչը հանգեցնում է բացառիկ երկրաչափական հանդուրժողականությունների բեմի:Ուղղակի շարժման տեխնոլոգիան առանց միջուկի գծային սերվո շարժիչներով չունի հիստերեզ կամ հակահարված, ինչը հնարավորություն է տալիս ճշգրիտ և կրկնվող նանոմետրային մասշտաբի շարժումներ X և Y ուղղություններով:
Ոչ կոնտակտային ուղղակի շարժիչ տեխնոլոգիան առաջարկում է ամուր, ճշգրիտ և բարձր արագությամբ դիրքավորում, որն անհրաժեշտ է ճշգրիտ սարքերի զանգվածային արտադրության համար:Այս XY փուլերը օգտագործում են առաջադեմ ուղղակի շարժիչ տեխնոլոգիա՝ դիրքավորման ամենաբարձր մակարդակի հասնելու համար:Ճշգրիտ դիրքավորումն ապահովված է առանց շփման գծային կոդավորչի:Շարժիչը և կոդավորիչները ուղղակիորեն զուգակցվում են հակադարձ ազդեցությունը վերացնելու համար:
Հատկանիշները ներառում են
★Ուղղակի շարժիչ գծային շարժիչներ
★Բանաձևը մինչև 0,1 մկմ
★Կրկնելիությունը մինչև 0,25 մկմ
★Բացարձակ ճշգրտություն մինչև 5 մկմ
★Առավելագույն արագությունը 1,5 մ/վրկ
★Առավելագույն արագացումը 1,5 Գ
★Աշխատանքային ճանապարհորդություն 300 x 300 մմ
Շարժիչի և առանցքակալի համադրությունը, որը փաթեթավորված է փոքր պրոֆիլում և ոտնաթաթի մեջ, շոշափելի առավելություններ է տալիս բազմաթիվ ծրագրերում, ինչպիսիք են բարձր ճշգրտության դիրքավորումը, սկավառակի սարքավորումը, մանրաթելերի հավասարեցումը, օպտիկական հետաձգման տարրերի ակտիվացումը, սենսորների փորձարկումը և սկանավորման գործընթացները, որոնք պահանջում են սահուն և սահուն գործընթացներ: ճշգրիտ շարժում.Փուլերը կարող են զուգակցվել նաև այլ ուղղահայաց և պտտվող փուլերի հետ։
Հրապարակման ժամանակը՝ Փետրվար-05-2023